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Hersteller/Unternehmen:

Zugspitzstrasse 140
Augsburg
Deutschland

Gültig bis 10.11.2030

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Name des Prüfobjekts	KR AGILUS-2 Serie
Beschreibung	Getestete Produkte: • KR 6 R700-2 (Herstellungsdatum: 3/2025; Farbe: weiß; Artikelnummer: 0010027948; Seriennummer: 4613800; Gewicht: 56 kg; max. Nutzlast: 6 kg; Reichweite: 726 mm) • KR 10 R1100-2 (Herstellungsdatum: 3/2025; Farbe: weiß; Artikelnummer: 0010028057; Seriennummer: 4613772; Gewicht: 59 kg; max. Nutzlast: 10 kg; Reichweite: 1101 mm)
Projektnummer	KU 2507-1650
Erstellt am	11.12.2025
Gültigkeitsdatum	10.11.2030
Testverfahren	ESD-Verhalten (SEMI E78)
Klassifikationen	Grenzwert (SEMI E78-0222):erfüllt

Der Roboter KR 6 R700-2 erfüllt die zulässigen Grenzwerte von 5 V/cm (0,5 kV/m) für die Empfindlichkeitsschwelle 2033/7,7 nm gemäß SEMI E78-0222.

Elektrostatik Aufladeverhalten (SEMI E78-0222)
Elektrostatisches Feld
Elektrostatisches Level		Messergebnis
Jahr Entwicklungs-stufe	Grenzwert [V/cm]	Mittelwert [V/cm]	Max. Einzelmessung [V/cm]
2033 7,7 nm	8,5	5	7
Grenzwert:		erfüllt

Der Roboter KR 10 R1100-2 erfüllt die zulässigen Grenzwerte von 4 V/cm (0,4 kV/m) für die Empfindlichkeitsschwelle 2033/7,7 nm gemäß SEMI E78-0222.

Elektrostatik Aufladeverhalten (SEMI E78-0222)
Elektrostatisches Feld
Elektrostatisches Level		Messergebnis
Jahr Entwicklungs-stufe	Grenzwert [V/cm]	Mittelwert [V/cm]	Max. Einzelmessung [V/cm]
2033 7,7 nm	8,5	4	5
Grenzwert:		erfüllt